辉光放电光谱仪表面分析方法能够对大块样品进行定性/定量分析，并对涂层样品进行深度剖析，是一种分析时间快、灵敏度好的分析方法。可对大块样品进行化学成分分析，并对涂层样品进行深度方向（~100 um）化学成分分析，从而能够对金属合金的主量和微量元素进行定性和定量分析。特别是，可以进行半导体多层样品的深度剖面（包括界面分析）、氮化和碳化层分析以及金属样品的金属腐蚀层分析。